Schlüssel für den Superchip

Statt wie bislang mit Hilfe normaler Lichtstrahlen Strukturen auf Chips zu ätzen, werden parallele Röntgenstrahlen verwendet. Durch sie wird eine noch feinere und weitaus schärfere Strukturaufzeichnung auf den Halbleitern möglich. Das Verfahren wird auch in der Mikrostrukturtechnik eingesetzt.
Preisträger 1988 im Wettbewerbsfeld 03