Prüfstand für Mikrochips

Durch Verwenden spezieller Abtastsignale können Chips innerhalb weniger Minuten mit einem modifizierten Rasterkraftmikroskop bis in den Nanobereich bei enorm hoher Orts- und Zeitauflösung auf ihre Funktionen überprüft werden. Das Verfahren eignet sich u. a. zur Qualitätskontrolle in der Halbleitertechnik.
Preisträger 1995 im Wettbewerbsfeld 02