Die kleinste Pumpe der Welt

Strukturierungsverfahren der Halbleitertechnik bieten auch der Mikromechanik neue Möglichkeiten. So kommt die neue Mikropumpe ohne bewegliche Teile aus und arbeitet nach dem elektrohydrodynamischen Prinzip. Die Anwendungen reichen vom Kühlsystem auf elektronischen Schaltungen bis in die Medizintechnik.
Preisträger 1991 im Wettbewerbsfeld 02