Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier hat das Projekt „EUV-Lithographie – neues Licht für das digitale Zeitalter“ mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet.

Das diesjährige Preisträgerteam, bestehend aus Dr. rer. nat. Peter Kürz, Dr. rer. nat. Michael Kösters und Dr. rer. nat. Sergiy Yulin, konnte mit einem wesentlichen Beitrag zur Herstellung von leistungsfähigen, energieeffizienten und kostengünstigen Mikrochips überzeugen.

Die zur Herstellung verwendete Technik der optischen Lithografie wurde für die Nutzung mit extremem ultraviolettem Licht (EUV) angepasst. Ein neues System aus speziell beschichteten Spiegeln sowie der Einsatz des derzeit stärksten CO2 Lasers machen es möglich, mikroelektronische Bauteile mit sehr feinen Strukturen zu fertigen. Einsatz finden die Mikrochips bereits bei führenden Herstellern von Mobilfunkgeräten und Halbleiterprodukten.

Es ist absehbar, dass sich die Technik in weiteren Bereichen der Informationstechnik als Standard etablieren wird.

Relevant für die Entscheidung der Jury ist der Innovationsgrad in Technik und Wissenschaft sowie das Potenzial diese Leistung auch in zukunftsfähige Arbeitsplätze umzusetzen.